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電子束蒸發鋁出現爬鍋現象及對策

 

 

一、爬鍋現象是指:電子束在石墨坩堝中蒸發鋁時,未形成小錠狀,而是沿著坩堝壁溢出。
二、出現爬鍋現象的原因:鋁的密度較小,電子束功率過大,且電流增加過快,導致爬鍋現象發生。
三、針對爬鍋現象的建議:控製功率大小與電流增加速度。電流緩慢增加,功率不要太大。

 

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