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磁性材料如何選擇靶材厚度?

 

 

    磁性材料主要包含鐵鈷鎳錳4種,主要應用於高溫超導材料和稀土發光材料方麵。

    鉑、鐵、鈷、鎳等的合金,銥錳、鐵鉑、鉑鎳等也是做磁性功能薄膜和磁性功能材料、磁記錄等行業的必要材料。

    磁性材料像鐵、鈷、鎳、錳等靶,一般建議做薄些,厚度不超過4mm,否則不容易起輝。

    原理:鐵磁性靶材會對磁控靶的濺射造成影響,由於大部分磁力線從鐵磁性材料內部通過,使靶材表麵磁場減少,需要很高電壓才能讓靶麵點火起輝。除非磁場非常的強,否則磁性靶材必須比非磁性材料要薄,才能起輝和正常運行(永磁結構的Ni靶的典型值<4px,磁控靶非特殊設計最大值一般不宜超過3mm,Fe,co靶的最大值不超過2mm;電磁結構的靶可以濺射厚一些的靶材,甚至可達6mm厚)。 

    正常工作時,磁控靶靶材表麵的磁場強度為0.025T~0.05T左右;靶材濺射刻蝕即將穿孔時,其靶材表麵的磁場強度大為提高,接近或大於0.1T左右。

 

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