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磁控濺射不起輝的現象、原因及對策

 

一、磁控濺射不起輝的現象

     直流磁控濺射金屬靶時,無法起輝,而且調節濺射電壓時,電壓不變,電流卻急劇增大。

二、磁控濺射不起輝的主要原因及對策有:

 1、靶材安裝準確否?

 2、靶材表麵是否幹淨

    金屬靶表麵氧化或有不清潔物質,打磨清理幹淨後即可。

 3、起輝電源是否正常

    檢查靶電源。

 4、靶與地線之間短路

    關掉機器,把設備的濺射靶卸下來,靶附近的零件仔細清洗一下;

    壓靶蓋旋的過緊,沒有和靶材之間留下適當的距離,調整距離即可。

 5、永磁靶表麵場強是否下降太多?

    如果下降太多(一般待靶材測量,表麵場強應大於300高斯),需要更換磁鋼。

 6、起輝濺射真空度與前次的差別?

    更換不同的靶材,起輝壓強不盡相同。換靶材後需要重新調功率匹配器的,隻有功率匹配調好了才能正常起輝。

 

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