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靶材的分類

 

 

一、根據材質不同可分為:金屬靶材,陶瓷(氧化物、氮化物等)靶材,合金靶材。


二、根據不同應用方向可分為:

  1、半導體關聯靶材:
    電極、布線薄膜:鋁靶材,銅靶材,金靶材,銀靶材,鈀靶材,鉑靶材,鋁矽合金靶材,鋁矽銅合金靶材等。
    儲存器電極薄膜:鉬靶材,鎢靶材,鈦靶材等。
    粘附薄膜:鎢靶材,鈦靶材等。
    電容器絕緣膜薄膜:鋯鈦酸鉛靶材等。
  2、磁記錄靶材:
    垂直磁記錄薄膜:鈷鉻合金靶材等。
    硬盤用薄膜:鈷鉻鉭合金靶材,鈷鉻鉑合金靶材,鈷鉻鉭鉑合金靶材等。
    薄膜磁頭:鈷鉭鉻合金靶材,鈷鉻鋯合金靶材等。
    人工晶體薄膜:鈷鉑合金靶材,鈷鈀合金靶材等。
  3、光記錄靶材:
    相變光盤記錄薄膜:硒化碲靶材,硒化銻靶材,鍺銻碲合金靶材,鍺碲合金靶材等。
    磁光盤記錄薄膜:鏑鐵鈷合金靶材,鋱鏑鐵合金靶材,鋱鐵鈷合金靶材,氧化鋁靶材,氧化鎂靶材,氮化矽靶材等。
    光盤反射薄膜:鋁靶材,鋁鈦合金靶材,鋁鉻合金靶材,金靶材,金合金靶材等。
    光盤保護薄膜:氮化矽靶材,氧化矽靶材,硫化鋅靶材等。
  4、顯示靶材:
     透明導電薄膜:氧化銦錫靶材,氧化鋅鋁靶材等。
     電極布線薄膜:鉬靶材,鎢靶材,鈦靶材,鉭靶材,鉻靶材,鋁靶材,鋁鈦合金靶材,鋁鉭合金靶材等。
     電致發光薄膜:硫化鋅摻錳靶材,硫化鋅摻鋱靶材,硫化鈣摻銪靶材,氧化釔靶材,氧化鉭靶材,鈦酸鋇靶材等。
  5、其他應用靶材:
     裝飾薄膜:鈦靶材,鋯靶材,鉻靶材,鈦鋁合金靶材,不鏽鋼靶材等。
     低電阻薄膜:鎳鉻合金靶材,鎳鉻矽合金靶材,鎳鉻鋁合金靶材,鎳銅合金靶材等。
     超導薄膜:釔鋇銅氧靶材,鉍鍶鈣銅氧靶材等。
     工具鍍薄膜:氮化物靶材,碳化物靶材,硼化物靶材,鉻靶材,鈦靶材,鈦鋁合金靶材,鋯靶材,石墨靶材等。

 

 三、根據形狀分為:平麵靶材和管狀靶材,其中平麵靶材又可以分為矩形靶和圓靶。

     我公司生產的常規圓形靶材直徑25-250mm;矩形靶材最長1500mm,其他參數可根據用戶的要求進行加工。

 

 

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