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?靶材的製作方法

 

目前靶材的製備主要有鑄造法和粉末冶金法。

鑄造法:將一定成分配比的合金原料熔煉,再將合金溶液澆注於模具中,形成鑄錠,最後經機械加工製成靶材,鑄造法在真空中熔煉、鑄造。常用的熔煉方法有真空感應熔煉、真空電弧熔煉和真空電子轟擊熔煉等,其優點是靶材雜質含量(特別是氣體雜質含量)低,密度高,可大型化;缺點是對熔點和密度相差較大的兩種或兩種以上金屬,普通熔煉法難以獲得成分均勻的合金靶材。

粉末冶金法:將一定成分配比的合金原料熔煉,澆注成鑄錠後再粉碎,將粉碎形成的粉末經等靜壓成形,再高溫燒結,最終形成靶材,其優點是靶材成分均勻;缺點是密度低,雜質含量高等,常用的粉末冶金工藝包括冷壓、真空熱壓和熱等靜壓等。

我公司生產靶材的工藝:通過金屬熔煉,粉末冶金,非金屬粉末方法運用真空熔煉,普通熱壓,冷壓燒結等方法成型,通過鍛造,熱軋或冷軋,再經過熱處理消除型材應力並使之均質化或通過高溫燒結增加其致密性,然後再對處理過的型材進行車,銑,刨,磨等機加工過程,再清洗,烘幹,完成最終產品。有時根據需要對某些靶材地麵金屬化後進行與無氧銅背板的綁定。最後經過超聲波或者X光等檢測,包裝,出廠。

 

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