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金屬濺射靶材
    基於堅實的研發背景和生產能力,AG亚游电游新材擁有粉末冶金,真空感應熔煉,懸浮熔煉等多種鑄錠工藝,配合先進的熱處理工藝及精密機加工工藝,生產加工各種高純金屬及稀土係列靶材,廣泛應用於電子半導體,太陽能光伏,平麵顯示,磁記錄,功能性薄膜等領域。
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類別品 名符號純度品名符號純度

常規

金屬

靶材

高純鋁靶Al5N-6N高純鎂靶Mg3N5
高純銅靶Cu4N-6N高純鐵靶Fe3N5-4N
高純鈦靶Ti3N-5N高純銦靶In4N-5N
高純鎳靶Ni3N-5N高純錫靶Sn4N-5N
高純鈷靶Co3N5高純鉿靶Hf3N 3N5
高純鋅靶Zn4N-5N高純鋯靶Zr2N5 3N

粉末

冶金

靶材

高純鉻靶Cr2N5 3N5高純釩靶V3N 3N5
高純鎢靶W3N5 4N 5N高純鉭靶Ta3N5 4N
高純鉬靶Mo3N5 4N高純铌靶Nb3N5 4N
高純錸靶Re3N 4N   
 

貴金

屬靶

高純金靶Au4N高純釕靶Ru3N5
高純銀靶Ag4N高純銥靶Ir3N5
高純鉑靶Pt4N高純銠靶Rh3N5
高純鈀靶Pd4N   
 

其他

靶材

高純硼靶B3N高純鉍靶Bi4N
高純碳靶C4N 5N高純硒靶Se4N
高純矽靶Si5N 6N高純銻靶Sb4N
高純鍺靶Ge6N高純碲靶Te4N
高純錳靶Mn3N高純鎘靶Cd4N
高純鉛靶Pb4N   
 

稀土

金屬

靶材

高純鈧靶Sc3N 4N高純銪靶Eu3N 4N
高純釔靶Y3N 4N高純鋱靶Tb3N 4N
高純鑭靶La3N 4N高純鏑靶Dy3N 4N
高純鈰靶Ce3N 4N高純鈥靶Ho3N 4N
高純鐠靶Pr3N 4N高純鉺靶Er3N 4N
高純釹靶Nd3N 4N高純銩靶Tm3N 4N
高純釤靶Sm3N 4N高純鐿靶Yb3N 4N
高純釓靶Gd3N 4N高純鑥靶Lu3N 4N
 


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